MRM切换阀MTV系列阀门

MRM MTV系列阀门属于肘节式拨动阀，核心面向高洁净、强腐蚀的精密流体控制场景，在半导体制造等领域应用广泛，其全系列的整体规格、共性优势等核心信息如下，可完整展现该系列阀门的特点：

核心材质与洁净性能

该系列阀门接液部位统一采用PFA/PTFE氟化乙烯树脂材质，既能抵御氢氟酸、硫酸、氨水等强腐蚀性超纯化学品侵蚀，还能控制金属离子析出量＜0.1ppb，避免污染半导体制造中的晶圆等精密工件。同时阀门经过高表面粗糙度加工与精密清洗，搭配全平构造和平面密封设计，开关过程中产生的粉尘量极低，契合高洁净工况对环境的严苛要求。

关键规格与连接方式

连接规格适配广：整体支持扩口连接以及 F60 连接，适配范围覆盖 3/8 英寸 - 1 英寸的管路，能匹配多数工业及精密设备的管路标准；部分型号除了适配常规接头，还有小型化设计可搭配多种小型接头，适配设备紧凑空间的安装需求。

型号覆盖多需求：系列下型号丰富，既有MTV2 - 6TF - SB - P - B、MTV2 - 8TF - SB这类适配小管路的小型型号，也有MTV2 - 15 - RB等兼顾中等流量输送的型号，可满足不同流量规模的流体控制需求。此外全系列还能对应 Flowell60series/Flare Type 相关规格，兼容性较强。

核心性能亮点

响应与控制精准：气动类型的该系列阀门响应时间＜0.1秒，能快速完成流路切换和流量调整，适配半导体制造中高频次的流体控制需求；其肘节式结构配合精密构造，还能实现对流体流量和压力的高精度控制，保障工艺稳定性。

工况适应能力强：拥有MRM独有的高压和热循环安全构造，通过特殊密封结构避免高压流体泄漏，选用的PFA等材质耐高温、抗温度波动，即便在热循环等恶劣工况下，也能长期稳定运行，不会因工况变化出现密封失效等问题。

全系列典型应用

除了半导体制造中晶圆清洗、蚀刻、光刻胶涂布等核心环节，该系列还适配液晶显示屏制造中液晶材料的流动控制场景；同时因高耐腐和高洁净特性，也可用于医药品分析装置中，控制高纯度试剂或流体的输送，避免污染影响分析结果，另外在化工领域的强腐蚀性药液输送管路中也有广泛适配性。