MRM MMV系列是日本MRM公司推出的PFA/PTFE全氟树脂手动隔膜阀,核心优势在于极致的耐腐蚀性与超高洁净度,主要用于半导体、制药等行业的高纯/强腐蚀化学药液管路系统,实现手动通断与流量调节。
核心特性
高耐腐蚀性:接液部分全部采用PFA/PTFE氟树脂,能耐受氢氟酸、硫酸等绝大多数强腐蚀性介质,金属离子析出量极低(<0.1ppb),杜绝介质污染。
超高洁净度:采用精密抛光、洁净清洗工艺及平面密封结构,死体积小,可有效减少微粒滞留与发尘,满足高纯流体输送标准。
安全可靠:采用特殊密封结构,能适应高压与热循环等恶劣工况,防止泄漏,确保长期稳定运行。
连接多样:主体为PFA材质,标准支持扩口(Flare Type)及F60等多种主流接头规格,方便系统集成。
关键规格
项目 规格参数
阀体材质 PFA(接液部分为PFA/PTFE)
常用尺寸 常规型:3/8"~ 1";小型省空间型:≤1/4"
连接方式 扩口式 (Flare Type)、F60等
适用介质 高纯度化学药液、高纯气体、超纯水
适用温度 0 ~ 100℃
操作方式 手动旋钮(可进行精细流量调节)
主要系列与适用场景
常规型 (MMV-Flare 系列):适配 3/8"至 1" 管路,是该系列的标准型号,通用性强。
小型省空间型:尺寸在 1/4" 及以下,专为空间受限的精密管路设计。
内螺纹型:采用 PP 阀体与内螺纹连接(Rc1/2、Rc3/4),适用于特定的非接液侧结构需求。
典型应用:半导体晶圆制造中的光刻、蚀刻等工艺段,以及化工、制药行业的强腐蚀性、高纯度流体输送系统。
与 NV 系列针阀的核心区别
MMV 系列(隔膜阀)和你之前问的NV系列(针阀)都是MRM的氟树脂手动阀,但设计和用途各有侧重:
对比项 MMV 系列 (隔膜阀) NV 系列 (针阀)
核心结构 隔膜密封,无死角 针形阀芯,节流调节
主要功能 通断控制,粗调流量 高精度流量调节,精细节流
适用场景 大流量药液的开关与粗调 小流量、高精度的流量控制