MRM ML系列小型多孔阀本质是小型化歧管阀,主打分离式结构设计,兼具高耐腐、低发尘的特点,适配精密小型管路的流体控制场景,常应用于半导体、微电子等领域的小流量药液或气体控制,其核心信息如下:
核心基础与洁净耐腐特性
材质保障性能:接液部位全部采用PTFE氟化乙烯树脂,隔膜同样选用PTFE材质,既能抵御各类化学品、超纯水的侵蚀,还能减少金属离子析出,避免污染流体;手动和肘节等非接液操作部件则采用PVDF材质,兼顾结构强度与基础耐腐性。
适配洁净工况:阀门经过高表面粗糙度加工与精密清洗,搭配平面密封结构,开关过程中发尘量极低,同时采用积液少的结构设计,能减少流体残留,契合半导体制造等对环境洁净度和流体纯度要求极高的场景。
小型化适配的规格参数
参数 具体内容
流通与端口 流通孔统一为Φ5或Φ6的小尺寸,适配小流量输送;B 端口支持6(1/8 英寸)、8(1/4 英寸)等小型规格,能匹配小型精密管路的连接需求
压力适配 分0.5MPa和0.7MPa两种规格,0.5MPa规格下 A→B 端口最大承受压力 0.5MPa,B→A 端口最大0.4MPa;0.7MPa规格全方向可承受0.7MPa压力,适配小型管路的低压至中压流体控制
温度范围 适配10 - 100℃的流体温度和0 - 40℃的大气温度,在小型精密设备的常规工作温度区间内可稳定运行
操作方式 涵盖手动式、手动肘节式以及单动式(弹簧复位),小型化设计搭配简洁操作结构,无需复杂驱动部件,节省安装空间,也方便手动微调控制小流量流体
小型款核心优势
安装维护便捷:采用分离型本体设计,相比一体型歧管阀,不仅生产效率高、价格更低、交货周期短,而且针对小型管路安装时更省空间。后续若某个部件损坏,可单独拆卸更换,无需整体更换阀门,降低维护成本。
安全性能可靠:延续了 MRM 独有的高压对策和热循环对策安全构造,即便在小型管路中遇到压力波动或温度变化,也能避免阀门松动、泄漏,保障小流量精密流体输送的密封性和稳定性。
典型小型型号与适配场景
代表性型号:如ML3 - 8SB6 - MMT这类小型手动阀,适配8(1/4 英寸)规格的小型端口,是该系列小型款的典型型号,常用于小流量药液输送管路。
核心场景:主要用于半导体、微电子制造中晶圆清洗、光刻等环节的小型药液管路,也可适配小型分析仪器、精密医疗设备中的超纯水或试剂输送管路,精准控制小流量流体的通断与流动。