MRM多孔阀ML系列

MRM ML系列本质是分离式本体的歧管多孔阀，核心优势聚焦耐腐、低发尘与高性价比，适配半导体等精密领域的多类流体控制，其全系列的完整核心信息如下：

核心结构与材质

分离式本体设计：区别于一体型歧管阀，该系列的分离式结构不仅生产效率更高，还能降低生产成本，交货周期更短。同时这种设计让配管时更节省空间，后续维修也可单独拆卸更换故障部件，无需整体更换阀门。

耐腐洁净材质搭配：接液部位全部采用PFA/PTFE氟化乙烯树脂，隔膜同样为PTFE材质，既能抵御各类化学品、超纯水的侵蚀，还能减少金属离子析出，避免污染流体；手动和肘节等非接液操作部件选用PVDF材质，在保障耐腐性的同时兼顾结构强度。

关键规格参数

参数 具体内容

适配流体 可用于化学品、超纯水以及气体，不过气体在流量最大1cm³/min时，可能出现阀底座泄漏的情况

端口与流通尺寸 B 端口尺寸有 6（1/8 英寸）和 8（1/4 英寸）两种；流通孔统一为 Φ5 或 Φ6，适配小流量流体输送需求

温度范围 流体温度适配 10 - 100℃，大气温度适配 0 - 40℃，能契合精密设备常规工作的温度区间

压力规格 分 0.5MPa 和 0.7MPa 两种。0.5MPa 规格下，A 端口→B 端口可承受 0 - 0.5MPa 压力，B 端口→A 端口可承受0 - 0.4MPa压力；0.7MPa 规格全方向均能承受 0 - 0.7MPa 压力

操作方式 包含手动式、手动肘节式和单动式（弹簧复位），适配不同场景下的操作需求，手动相关款式还方便人工微调流量

核心性能优势

低污染适配精密场景：阀门经过表面粗糙度加工与精密清洗，搭配积液少的结构设计，开关过程中发尘量极低，能避免流体残留和粉尘污染，完美适配对环境与流体纯度要求严苛的工况。

安全性能突出：采用MRM独有的高压对策和热循环对策安全构造，特殊密封结构可防止高压泄漏，选用的适配材质能应对温度循环带来的部件形变问题，保障恶劣工况下的稳定运行。

典型型号与应用场景

典型型号：ML3 - 8SB6 - MMT是该系列中较具代表性的手动药液阀，常作为小型款适配小型精密管路；此外该系列还有适配不同操作需求的衍生型号，覆盖手动、气动等多种控制方式。

主要应用：核心用于半导体制造的晶圆清洗、蚀刻等环节，负责控制强腐蚀性药液和超纯水的输送；同时也可用于微电子、小型分析仪器等领域，管控小流量化学品或气体的通断与流动。