MRM三通阀MAV3D系列

MRM MAV3D系列是一款主打高耐腐、低发尘的气动式三通歧管阀，适配半导体等精密领域的化学品、超纯水等流体控制，其紧凑结构还能节省配管空间，以下是详细信息：

核心材质与洁净特性

全氟树脂耐腐构造：接液部位全部采用 PTFE/PFA 氟化乙烯树脂，其中阀体和隔膜均为 PTFE 材质，能抵御各类强酸强碱化学品、超纯水的侵蚀，同时避免金属离子析出污染流体，适配高纯度流体控制需求。

超低发尘适配洁净场景：阀门表面经过特殊粗糙度加工，出厂前还经过精密清洗，搭配积液少的结构设计和平面密封结构，不仅减少流体残留，开关过程中发尘量极低，契合半导体制造等对洁净度要求严苛的工况。

关键规格参数

参数 具体内容

适配流体 可稳定适配化学品、超纯水以及气体三类流体，覆盖精密制造领域常见流体类型

温度范围 流体温度适配 10 - 100℃，大气温度适配 0 - 40℃，符合精密设备常规工作的温度区间，适配性强

操作相关 操作方式为单动式（弹簧复位），所需气动供给压力范围在 0.35 - 0.6MPa，依靠气动驱动实现自动化流体切换

尺寸与流通 阀门端口有 6（1/8 英寸）、8（1/4 英寸）两种规格；流通孔尺寸为 Φ5 或 Φ6，适配小流量流体的输送与切换需求

流体压力 仅提供 0.5MPa 规格，其中流体从入口到出口（IN→OUT）可承受 0 - 0.5MPa 压力，背压可承受 0 - 0.4MPa 压力，适配中低压流体控制场景

核心优势与典型型号

核心优势：除了耐腐和低发尘，该系列还支持多种连接方式，配管时更节省安装空间；同时采用 MRM 独有的高压对策和热循环对策安全构造，可应对压力波动和温度循环带来的部件形变问题，防止泄漏，保障运行稳定性。

典型型号：市场上常见型号有 MAV3D - 8 - HA - 29 - 10、MAV3D - 86 - SA - 29 - 10 等，这类型号多作为 PTFE 材质药液阀，适配小型精密管路的流体三通切换场景，在供应商渠道的单台报价多在 2600 - 2700 元左右，批量采购还可享受价格优惠。

适配应用场景

因耐腐性和洁净性突出，该系列三通阀核心应用于半导体、微电子制造领域，用于晶圆清洗、蚀刻等环节的化学品和超纯水输送切换；同时也可适配微电子、精密分析仪器等设备中，实现小流量气体或高纯度液体的三通流路切换控制。