MRM回吸阀MLSV系列

MRM的MLSV系列是与MSV系列同属回吸阀，主打紧凑结构与高适配性，适配半导体、制药等对流体洁净度和控制精度要求高的领域，以下是具体介绍：

核心结构与性能优势

紧凑设计省空间：采用单体及气控阀一体型的紧凑布局，适配各种接头，能适配半导体设备等空间密集的安装场景，可提升设备布局的灵活性，减少安装空间占用。同时部分型号支持火炬连接及 F60 连接（3/8″~1″），连接方式灵活，适配不同管路安装需求。

高洁净耐强腐：接流体部位均采用氟化乙烯树脂（PFA/PTFE），不仅能抵御氢氟酸、硫酸等强腐蚀性超纯化学品侵蚀，还能控制金属离子析出量＜0.1ppb，避免污染流体。且阀门经表面粗糙度加工与精密清洗，搭配全平构造，开关过程中粉尘产生量极低，契合高洁净工况标准。

可调节且响应快：支持通过调节手柄调整回吸量，能适配不同工艺对回吸效果的差异化需求；其中气动型型号响应时间＜0.1 秒，可快速适配产线中高频开关、流体流量快速调整的场景，保障工艺稳定性。另外其还具备截止功能，可当作单向阀防止流体逆流，实现一阀多用，简化系统设计。

典型型号与驱动方式

型号 驱动方式 相关特点

MLSV - 4TF3 - SA - 1 - M 手动 属于手动款回吸阀，具备低粉尘、抗腐蚀特性，适配对操作方式要求简单的精密工况

MLSV - 6TF - FA - 1 - VM 气动 气动驱动适配自动化产线，常用于制药、食品等领域的流体回吸控制，市场参考价 1650 元 / 个

MLSV - 6TF - SB - 1 - M 手动 主打耐化学品特性，适配药业等领域的药液回吸场景，契合药液输送的洁净与防污染需求

MLSV - 4 系列 气动 专为半导体 IC 生产设计，公称通径 12mm，采用转角连接形式，适配半导体制造中的精细流体控制

核心适配场景

该系列核心应用于半导体制造全流程，像晶圆清洗、蚀刻、光刻胶涂布等环节，能精准控制化学药液的回吸与流量，避免药液滴落污染晶圆；同时适配制药行业的药液输送与灌装环节，防止药液残留和交叉污染；此外也可用于食品、微电子等对流体洁净度、回吸控制有要求的领域，保障生产过程中流体输送的稳定性与安全性。