MRM MTV系列本质是肘节式切换阀(也常被称为拨动阀),主打高纯耐腐特性,专为强腐蚀、高洁净要求的流体控制场景设计,在半导体等精密制造领域应用广泛,以下是其核心信息的详细介绍:
核心结构与材质
阀体与接液材质:阀体主体采用PFA材质,接液部位则全部选用氟化乙烯树脂(PFA/PTFE)。这种材质搭配能轻松抵御氢氟酸、硫酸等强腐蚀性超纯化学品侵蚀,且金属离子析出量低于0.1ppb,可避免污染输送介质。
密封与洁净结构:采用平面密封结构,同时经过表面粗糙度精细加工和精密清洗处理,阀门开关过程中产生的粉尘量极低,契合高洁净生产环境的要求;另外其独有的安全构造,还能应对高压工况和热循环场景,防止高压泄漏,保障工况波动时的稳定性。
关键规格与连接方式:该系列阀门主要适配两种连接方式,分别是扩口连接(Flare Type)和F60连接(适配 Flowell 60 系列标准),适配规格集中在 3/8 英寸 - 3/4 英寸。部分型号还有小型化设计,能适配多种接头,适合安装空间紧凑的设备与管路,无需大幅调整管路布局即可集成。
核心性能优势
响应迅速:作为气动控制阀时响应时间小于0.1秒,能快速完成流路切换和流量压力调整,可满足高频开关、工艺快速变化的场景需求。
控制精准:依托精密的结构设计,能精准控制流体的流量和压力,控制精度可匹配半导体制造等对工艺参数要求严苛的场景,保障生产流程的稳定性。
典型应用场景
半导体制造:这是其核心应用领域,可用于晶圆清洗、蚀刻、光刻胶涂布等多个关键环节,控制各类超纯化学品的输送,避免因介质污染或流量波动影响晶圆良率。
其他精密工业场景:在液晶显示屏制造中,可控制液晶材料等流体的流动,保障显示屏生产质量;同时也适用于医药品分析装置,凭借高密封性和耐腐蚀性,确保药品生产与检测过程中的流体控制安全。