MRM MPTV系列属于肘节式切换阀(拨动阀),是主打高耐腐、高洁净的精密流体控制部件,和此前的MTV系列功能属性相近,但连接标准更偏向适配 pillar 相关规格,适配半导体等精密制造领域的严苛工况,以下是其核心信息的详细介绍:
核心材质与洁净特性
高耐腐材质:该系列阀门的接液部位全部采用氟化乙烯树脂(PFA/PTFE)制造,这种材质能有效抵御氢氟酸、硫酸等强腐蚀性超纯化学品的侵蚀,且金属离子析出量极低,可避免污染输送的高纯度介质,适配各类强腐蚀流体控制场景。
低发尘洁净设计:阀体经过高表面粗糙度加工与精密清洗,同时采用平面密封结构,阀门开关过程中产生的粉尘量极少,能满足半导体、精密电子等对生产环境洁净度要求极高的场景,防止粉尘污染影响产品良率或设备精度。
适配连接与结构优势
专属连接标准:该系列专门适配pillar super 300与super flare连接标准,区别于MTV系列适配的Flowell 60系列等标准,可精准匹配采用pillar相关规格管路的设备与系统,无需复杂转接即可实现稳定安装。
安全结构保障:延续了MRM独有的安全构造,包含高压对策和热循环对策设计。既能应对高压工况下的流体冲击,防止泄漏;也能在温度反复波动的热循环场景中保持结构稳定,避免因热胀冷缩导致连接处松动或密封失效。
典型型号与驱动、结构适配
该系列拥有多款细分型号以适配不同场景,比如MPTV2 - 15F - SB - B、MPTV2 - 15 - XA等。其中部分型号支持手动、气动、脉冲等多种驱动方式,适配自动化与人工操作不同场景;还有型号采用三通式通道位置结构,适配流路换向需求,公称通径涵盖 DN13 等常用规格,能匹配中小型精密管路的流体控制需求。
主要应用场景
其应用场景和同类型肘节阀高度重合,核心聚焦在高洁净、高耐腐需求的领域。在半导体制造中,可用于晶圆清洗、蚀刻等环节的超纯药液输送与流路切换;在精密仪器领域,适配液相色谱仪等设备的流动相切换;同时也能用于化工行业腐蚀性反应物的投加与流路控制,以及医药行业高洁净度环境下的流体分配等场景。