MRM MTV系列小型切换阀本质是小型化肘节式拨动阀,像MTV2 - 6TF - SB - P - B、MTV2 - 8TF - SB等都是其典型型号,专为安装空间紧凑的精密流体控制场景设计,核心适配半导体等行业的小型化设备,以下是其核心信息介绍:
核心材质与洁净性能
该系列小型阀延续了MTV系列的高耐腐、高洁净核心优势。接液部位均采用氟化乙烯树脂(PFA/PTFE),可抵御氢氟酸、硫酸等强腐蚀性超纯化学品侵蚀,且金属离子析出量<0.1ppb,能避免污染输送的精密介质;同时经过表面粗糙度精细加工与精密清洗,搭配全平构造设计,阀门开关过程中产生的粉尘量极低,契合半导体等对洁净度要求严苛的场景。
关键规格与连接适配
型号与口径适配:从市面流通型号来看,MTV2 - 8TF - SB适配1/4英寸规格,还有适配更小管路需求的型号,整体公称通径相比 MTV 系列常规型号更小,像部分型号可匹配小型精密管路的细微流量控制需求;MTV2 - 15 - RB等型号则在小型化基础上兼顾中等流量输送,适配不同小型设备的流体工况。
连接灵活性:虽主打小型化,但适配性较强,既能适配MTV系列常规的扩口连接、F60连接,部分型号还支持适配多种小型接头,无需大幅改造紧凑的设备管路布局,就能轻松集成安装,解决小型精密设备中管路密集、安装空间有限的问题。
驱动与性能亮点
小型化设计并未削弱其性能,气动类型的小型 MTV 阀响应时间依旧<0.1 秒,能快速完成流路切换与流量调整,满足小型半导体设备、精密分析仪器中高频次的流体控制需求;同时继承了系列独有的高压和热循环安全构造,通过特殊密封结构防止高压泄漏,选用耐高温的 PFA 等材质,即便在工况温度波动时,也能保持稳定运行,避免因小型化导致密封或抗压能力下降。
典型应用场景
除了适配半导体制造中晶圆清洗、蚀刻等环节的小型化工艺模块,还常用于精密分析仪器,比如医药品分析装置中的小型流体管路控制,以及液晶显示屏制造中的小型化流体输送单元。例如在便携式或紧凑型半导体检测设备中,其小型化体积可节省设备内部空间,高耐腐性则能保障检测用化学试剂输送的稳定性与准确性。