MRM D系列排水阀是日本 MRM主打高流量、高洁净度的气动式排水阀,细分有D2、D3等子系列,适配半导体、制药等领域的高纯度与腐蚀性流体排水需求,以下是具体信息介绍:
核心材质与结构亮点
多选材质适配不同工况:阀体可选用PTFE、PVC、CPVC、PP四种材质,其中PTFE材质能抵御氢氟酸等强腐蚀性化学品,金属离子析出量<0.1ppb,而PVC等材质则可适配常规腐蚀性流体场景,适配性灵活。且波纹管固定采用 PTFE 材质,搭配可选的O - ring,进一步提升耐腐密封效果。
R 形波纹管优化设计:核心采用R形波纹管构造,不仅能实现接液部位无油洁净,还能减少流体残留,同时大幅提升阀门的耐久性;部分 D3 子系列型号还支持有无波纹管的选择,无波纹管型号为薄型设计,适配空间紧凑且需应对背压的生产线。
关键规格参数
参数 具体内容
适配流体 主要适配各类化学品和超纯水,契合半导体、制药领域的流体排水需求
温度范围 PVC 材质适配 10 - 40℃流体温度,PTFE、CPVC、PP材质适配10 - 80℃流体温度;大气温度均适配0 - 40℃
操作相关 主流为复动式操作,D3 子系列带波纹管的型号为单动式;气动供给压力统一为 0.3 - 0.6MPa,气动响应时间<0.1 秒,可满足高频开关需求
流体压力 IN→OUT 方向和背压承受范围均为 0 - 0.01MPa,适配低压排水场景
适配规格 D3 子系列可对应 40A 及 50A(UNION)规格,部分型号支持法兰、活接等多种连接方式,还有 3/8″ - 1″的火炬连接及 F60 连接可选
细分系列与市场信息
细分系列 特点 典型型号与价格
D2 系列 主打常规高流量排水,适配通用精密流体场景 常见 D2 - 025PV - F - UB - 5B、D2 - 075AF - F - UB - 5 等型号,参考价多在 850 - 1530 元,批量采购 20 个以上价格会有一定优惠
D3 系列 为三通排水阀,可实现流体分支,相比单体排列更节省空间,适配多流路排水场景 如 D3 - 200PV 型号,支持 40A 和 50A 规格,具体价格需结合采购量咨询供应商
核心应用场景
该系列阀门核心应用于半导体制造全流程,涵盖晶圆清洗、蚀刻、光刻胶涂布、化学机械抛光以及药液回收循环等环节,能精准控制排水流量与压力,保障工艺精度;同时也适配制药、食品领域的药液排水场景,其低残留、低发尘的特点可避免污染产品,契合这类行业对洁净度的严苛要求 。